![Юрий Панфилов - Формирование функциональных слоев](/media/books/po/200x298/poster_200x298.png)
Юрий Панфилов - Формирование функциональных слоев
Жанры: | Жанр к этой книге еще не добавлен |
---|
Случайная цитата из книги
К этой книге еще не добавлены цитаты Добавить цитатуРекомендуемый контент
Описание книги «Формирование функциональных слоев»
Дано описание основных физических явлений при воздействии ускоренных потоков электронов, ионов и газоразрядной плазмы на поверхность обрабатываемых изделий. Рассмотрены ключевые операции изготовления микро- и наноструктур: нанесение тонких пленок в вакууме, вакуумно-плазменное травление и ионная имплантация. Акцентировано внимание на взаимосвязи между характеристиками технологических операций и показателями качества получаемых микро- и наноструктур. Приведены физико-химические модели расчета основных режимов элионной обработки. Для студентов, обучающихся по направлениям «Наноинженерия» и «Электроника и наноэлектроника».
С книгой «Формирование функциональных слоев» читают
Рецензии на книгу «Формирование функциональных слоев»
Рецензий еще нет. Вы можете стать первым, кто напишет рецензию на книгу «Формирование функциональных слоев»!
Пожалуйста, зарегистрируйтесь или войдите, чтобы оставить рецензию. Регистрация займет не более 15 секунд.
Популярные списки книг
Эти книги могут быть интересны:
- Мандат лицедея. Часть первая
- 28 дней за границей, или Действительная поездка в Германию
- Петуния. Для себя и для бизнеса
- Speech Recognition Over Digital Channels
- О хороших людях и кассовых разрывах
- Сказки Мандаринового Дерева. Сборник Самоисполняющихся Сказок
- Живущие среди нас (сборник)
- A mente e o som de um transtorno
- Some Like It Wicked
- Veronas Wolke
Отзывы на книгу «Формирование функциональных слоев»
Отзывов еще нет. Станьте первым, кто напишет отзыв на книгу «Формирование функциональных слоев»!
Пожалуйста, зарегистрируйтесь или войдите, чтобы написать отзыв. Регистрация займет не более 15 секунд.