Hiroyuki Fujiwara - Spectroscopic Ellipsometry
Жанры: | Жанр к этой книге еще не добавлен |
---|
Случайная цитата из книги
К этой книге еще не добавлены цитаты Добавить цитатуРекомендуемый контент
Описание книги «Spectroscopic Ellipsometry»
Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.
С книгой «Spectroscopic Ellipsometry» читают
Рецензии на книгу «Spectroscopic Ellipsometry»
Рецензий еще нет. Вы можете стать первым, кто напишет рецензию на книгу «Spectroscopic Ellipsometry»!
Пожалуйста, зарегистрируйтесь или войдите, чтобы оставить рецензию. Регистрация займет не более 15 секунд.
Популярные списки книг
Эти книги могут быть интересны:
Отзывы на книгу «Spectroscopic Ellipsometry»
Отзывов еще нет. Станьте первым, кто напишет отзыв на книгу «Spectroscopic Ellipsometry»!
Пожалуйста, зарегистрируйтесь или войдите, чтобы написать отзыв. Регистрация займет не более 15 секунд.