Аскер Кушхов - Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
Жанры: | Жанр к этой книге еще не добавлен |
---|
Случайная цитата из книги
К этой книге еще не добавлены цитаты Добавить цитатуРекомендуемый контент
Описание книги «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы»
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.
С книгой «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы» читают
Рецензии на книгу «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы»
Рецензий еще нет. Вы можете стать первым, кто напишет рецензию на книгу «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы»!
Пожалуйста, зарегистрируйтесь или войдите, чтобы оставить рецензию. Регистрация займет не более 15 секунд.
Популярные списки книг
Эти книги могут быть интересны:
Отзывы на книгу «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы»
Отзывов еще нет. Станьте первым, кто напишет отзыв на книгу «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы»!
Пожалуйста, зарегистрируйтесь или войдите, чтобы написать отзыв. Регистрация займет не более 15 секунд.