![Аскер Кушхов - Ионно-плазменная обработка материалов](/media/books/po/200x298/poster_200x298.png)
Аскер Кушхов - Ионно-плазменная обработка материалов
Жанры: | Жанр к этой книге еще не добавлен |
---|
Случайная цитата из книги
К этой книге еще не добавлены цитаты Добавить цитатуРекомендуемый контент
Описание книги «Ионно-плазменная обработка материалов»
В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов при различных способах вакуум-плазменных процессов. Обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные случаи повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Приводятся примеры использования ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники.
С книгой «Ионно-плазменная обработка материалов» читают
Рецензии на книгу «Ионно-плазменная обработка материалов»
Рецензий еще нет. Вы можете стать первым, кто напишет рецензию на книгу «Ионно-плазменная обработка материалов»!
Пожалуйста, зарегистрируйтесь или войдите, чтобы оставить рецензию. Регистрация займет не более 15 секунд.
Популярные списки книг
Эти книги могут быть интересны:
Отзывы на книгу «Ионно-плазменная обработка материалов»
Отзывов еще нет. Станьте первым, кто напишет отзыв на книгу «Ионно-плазменная обработка материалов»!
Пожалуйста, зарегистрируйтесь или войдите, чтобы написать отзыв. Регистрация займет не более 15 секунд.